Sistema de detección de fugas de helio en cámara de vacío para componentes/sellos de semiconductores

Sistema de detección de fugas de helio en cámara de vacío para componentes/sellos de semiconductores

Introducción b del sistema de detección de fugas de helio

Se utiliza para la detección de fugas de componentes/sellos electrónicos. La solución consta de un tanque de helio a presión, un tanque de detección de fugas y un detector de fugas de espectrómetro de masa de helio.

Características del sistema de detección de fugas de helio

1El diseño exclusivo del circuito de gas mejora la velocidad de bombeo del helio, acorta el tiempo de fondo de limpieza del helio y previene efectivamente la contaminación por helio.

2La tasa mínima de fuga detectable es baja, la sensibilidad es alta y el rango de detección puede alcanzar el nivel 12;

3Funciones inteligentes de indicación de fallas y alarma.

Composición del sistema de detección de fugas de helio

La solución está compuesta por un depósito de helio a presión, un depósito de detección de fugas y un detector de fugas del espectrómetro de masa de helio.el gas de helio de la concentración especificada

Aplicación del producto

Industria de semiconductores, componentes y sellos