Sistema de detección de fugas de helio en cámara de vacío para componentes/sellos de semiconductores

Sistema de detección de fugas de helio en cámara de vacío para componentes/sellos de semiconductores

Introducción del sistema de detección de fugas de helio

Se utiliza para la detección de fugas en componentes/sellos electrónicos. La solución consta de un tanque de helio a presión, un tanque de detección de fugas y un detector de fugas de espectrómetro de masas de helio.

Características del sistema de detección de fugas de helio

1. El diseño único del circuito de gas mejora la velocidad de bombeo de helio, acorta el tiempo de fondo de limpieza de helio y previene eficazmente la contaminación por helio;

2. La tasa de fuga detectable mínima es baja, la sensibilidad es alta y el rango de detección puede ser de hasta el nivel 12;

3. Funciones inteligentes de indicación de fallas y alarma.

Composición del sistema de detección de fugas de helio

La solución se compone de un tanque de helio a presión, un tanque de detección de fugas y un detector de fugas de espectrómetro de masas de helio. Los componentes electrónicos o sellos se colocan en el tanque de helio a presión, el gas helio de la concentración especificada

Aplicación del producto

Industria de semiconductores, componentes/sellos