Máquina de detección de fugas de helio con vacío certificada CE para la industria de semiconductores

Detector de fugas de helio SFJ-16M

Indicadores de rendimiento






 

Tasa mínima de fugas detectable
(Pa·m³/s) / modo de vacío

Modo de vacío (ULTRA):5.0 × 10^{- 13 años.} Las demás³/s(velocidad de bombeo de helio > 5 l/s)
Modo de vacío (FINE):1.0 × 10^{-12 años.} Las demás³/s(velocidad de bombeo de helio 2,5 L/s)

Tasa mínima de fugas detectable
(Pa·m3/s) / modo de detección

5.0 × 10^{-8 años}Las demás³/s

Tiempo de respuesta (s)

El valor de la

Tiempo de arranque (min)

≤ 95 s

Rango de detección de fugas
(Pa·m³/s)

5.0 × 10^{- 13 años.}~ 1,0 x 10^{- ¿ Qué pasa?}Las demás³/s

Rango de visualización de la tasa de fuga
(Pa·m³/s)

1.0 × 10^{- 13 años.}~ 1,0 x 10^{- ¿ Qué pasa?} Las demás³/s

Presión máxima admisible de detección de fugas ((Pa)

1500

Calidad detectable

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Configuración básica










 

Interfaz hombre-máquina

Pantalla táctil LCD de 5 "de color

Fuente de iones

2pcs, óxido de itrio recubierto de iridio, con conmutación automática

Interfaz de entrada/salida

Ocho entradas y ocho salidas

Interfaz de comunicación

Se trata de un sistema de transmisión de datos.

Interfaz MES

Estándar

Tamaño físico del instrumento
(W) ×(D) ×(H), mm

Se trata de una muestra de las características de las unidades de producción.

Especificaciones del puerto de detección de fugas

DN16 KF/2 piezas

Fuente de alimentación

El valor de las emisiones de CO2

Temperatura de funcionamiento

0-40oC

El poder

240 W

Lenguaje de visualización

Tanto chino como inglés

Indicación de la tasa de fuga

Figura, gráfico de barras, gráfico de curvas